个圆心,使用人工打磨,已经不可能。
必须要用等离子自动抛光设备,这东西中国没有,国外也买不来,只能自己造。
镜头上还要镀膜,把极紫外光以外的其他光线吸收掉。
这种规格的镀膜机,也买不来,杨东升也得自己造。
这些还不算完,由于极紫外线非常容易被吸收,即便空气也会吸收极紫外线,所以整个工作环境必须保持高度真空。
光刻机内部必须先使用普通真空泵先吸一遍,再用分子真空泵抽一遍,这还不够,必须还得用吸附式方法,再抽一遍。
杨东升敢把还在研制中的技术,拿给他们看的原因就是光刻机的整体构造,其实没什么秘密可言,考验的就是实打实的工业实力。
这就是最讨厌的地方!
中国进口了上千台航空发动机,但是对自身航空发动机技术的提升,几乎没有任何作用。
荷兰阿斯麦的极紫外线光刻机使用的是美国的光源,德国的镜头,瑞典的轴承,法国的阀件……可以说集合了西方所有发达国家先进技术于一身。
极紫外线光刻机,中国确实做不出来,但是美国人独自也做不出来。
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