台KHA-75-1型光刻机,与世界尖端水平差距缩短到5年内。
1985年,国内新型分步式光刻机试验机通过验收,经专家鉴定,其性能逼近M国光刻机巨头GCA公司4800DSW型光刻机的水平。
值得一提的是,这是Z国第一台分步投影式光刻机,虽不像一些资料中描述的那般“领先世界”,但它却让国内在光刻机领域紧紧咬住了世界第一梯队的步伐,与顶端的差距最多只有七八年。
至此,Z国光刻机技术发展史已然抵达顶点,但谁又能想到,它竟也成了一个辉煌时代的落幕?
随着大开放的深入,Z国以积极的姿态融入世界,扑面而来的巨大机遇中也夹藏着许多“甜蜜的毒药”。
上世纪七八十年代,Z国和M国度过了一段“蜜月期”,大到先进武器,小到各种民用产品,只要钱到位都不再是触不可及的奢望。
西方国家也表现得相当“慷慨”,连光刻机这样的尖端产品也愿意出售。
可以说,西方对国内的“慷慨”,究竟是一时的好意还是险恶的阴谋,其中的利害实在意味深长。
另一方面,国内光刻机发展恰巧遭遇瓶颈,被卡在193nm光源已有小二十年。
既然能够轻松获取,为什么还要费劲研发呢?彼时的Z国远不算富裕,两相对比,“买办思想”很快就占据了主流。
逆水行舟不进则退,Z国与第一梯队的距离越来越大,很快便彻底脱节。
其实在这个领域,相比国内与美、日、欧的差距,第一梯队内部的斗争要惨烈且残酷得多。
光刻机的原理,其实并不复杂,甚至在发在初期,其复杂程度甚至不如照相机;一些对光刻机有需求的企业并不向专业厂商购买,而是买来零件自己组装,如英特尔。
而最早的光刻机发展潮流,是由M国人领导的。
1961年,M国GCA公司研制出第一台接触式光刻机,成为光刻机产业的巨头。
1967年,在M国空军的支持下,珀金埃尔默仪器公司推出世界首台投影式光刻机Micralign100,一夜间将芯片良率提升了7倍。
1978年,GCA公司又推出步进式光刻机DSW4800,分辨率可达1微米。
虽然该型光刻机的单价高达45万美元,但各大企业仍趋之若鹜,根本不愁卖。至此,GCA公司进入全盛时期,在其引领下,M国光刻机产业如日中天,殊不知养虎为患,
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