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第259章 突破14nm光刻机工艺

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个载胶片,两者需要始终同步,误差要在2nm以下,而两个工作台由静到动,加速度跟导弹发射差不多……”

孙立群抢着介绍了一番后,首长转头问右侧的陈序,“小陈你估计多长时间能研制成功?”

陈序组织了一下语言说:“如果一切顺利的话,大概今年底吧!”

说完陈序又跟到:“因为是第一次做没经验,再加上一些关键性的零部件被卡了脖子,只能通过自主研发。不过等到7nm时应该会很轻松。”

首长闻言有些讶异道:“7nm?”

孙立群再次抢着介绍道:“总L您没听错,正是7nm。

我们和星海在研发14nm以及10nm的同时也在布局7nm,而且我们的7nm技术跟国外的稍稍有些不同……”

首长听完后点点头,再次伸手拍拍陈序的手臂,“嗯,你是好样的!”

陈序被夸的有些不好意思了,呵呵笑着没说话。

一个小时后,下来考察调研的领导及随行人员乘坐考斯特离开了,陈序回到办公室直接瘫坐在了沙发里,说:“感觉比做十天实验还累。”

跟进来的中星微电子总负责人张海春,笑呵呵道:“一般搞学术的人,都不怎么喜欢这种场合,等以后习惯了应该会好一些。”

张海春是光刻机领域的大牛级人物,曾先后在ASML及台积电工作,甚至还被SMEE聘请为高级总工程师,不过后来因为某些原因离职了。

他在国际学术圈的地位比周东林还牛掰。

“呵呵,也许吧。”陈序说着坐起来点了一根烟,“超精密工件台的实验怎么样了?”

“不怎么理想,目前实验最多只能到5nm,距离要求的2nm还有一定的差距,德国跟日苯那边……”

陈序听了一会,然后一把把香烟摁灭,起身道:“走,带我过去看看。”

光刻机和别的设备不一样,它里面大部分零部件都需要专门定制。

什么意思呢,就是你想在市场上买配件来组装都不可能。

而越高端定制的比例也越高,到了10nm这个级别,里面90%以上都是定制的。

且不是你想定制就能定制的,得看上游厂商愿不愿意接你的订单。

他之前花高价从荷兰买配件,就是因为那些配件如果全部自己生产的话,先不说短时间能不能生产出来,就算能做出来,价格也要贵上十倍都不止!

不过以后不行了


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