都存在，但不过因为每个规格的光刻机不一样，所以温控系统也有各自的区别。”
“你们的安装如果按照90nm规格来说的话不会有任何问题，但在32nm规格的机器上却出现了些许的误差，这一点在安装说明书上其实有提过，不过显然你们没有注意到，距离正常安装的位置，错过了超过1cm。
“1cm，也就是lOOnm。”
“接下来，还用我再说吗？”
话只说了一半，但在场所有人却都明白萧阳的意思，把头埋的更低了。
这台光科技，包含了10个分系统，两万多个机械部件，2 0 0多个传感器，而在如此庞大的机械结构构成的光刻机，需要的是每一台机器同步协调。
而如此庞大的机械组，想要稳定，就必须要做到精准。
一般来说，最好的安装师，误差不会超过2nm，而一般来说，10 nm就是极限，如果误差超过了lOOnm，那就是一场灾难。
引起灾难也必然顺理成章。
特别是最为重要的温控系统。
温度和空气压力变化会影响对焦，而且机器内部的机械件高速运转，就需要对温度进行实时控制和检测，温度需要始终维持在千分之五度，而且必须配备合理完善的冷却方式，精准的测温传感。
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