的带领下研制成功了我国第一台光刻机？”
陈国泰神色一动，忍不住插嘴说道。
“没错，的确是这样。当时徐总工是临危受命......没有任何图纸和设备，就连概念都是模糊不清，一切都是从头开始，就连每一个螺丝都要从头设计制造......又没有任何加班费和奖金......但就算是这样，徐总工带领的团队硬是从无到有，只用了一年多时间，就把光刻机最主要的气体激光器，以及工件台的精密导轨、丝杠、滚珠、步进电机、数控计算机，和其它光学系统、大孔径投影物镜等等组件全部研制出来并组装成功......我个人觉得，他们团队的行为比起从头开始搞‘和平工程’的那批伟大科学家都不逊色！”
郑通元讲述到这里，禁不住取下眼镜擦了擦眼角。
“没错啊。他们都是国之脊梁！应该永远被我们的国人和所有后代铭记！”
陈国泰对郑通元提到的人也是肃然起敬，深深叹服。
“......就这样，徐总工团队经过一年多时间的舍命付出，终于在1971年成功研制出我国第一台光刻机和分布重复照相机，并迅速投入规模生产，供应全国半导体行业使用，为民生工业和军事工业持续提供‘心脏’动力......就在去年，那位执政之后非常重视科技，此项成果终于荣获全国科技大会奖。徐总工团队也终于获得了应有的荣誉......这台光刻机也被称为我国第一代光刻机。它让我国的工控芯片跟上了10微米制程的世界主流水平......”
郑通元徐徐吐出一口气，总结说道。
“郑大哥，既然那台光刻机被称为第一代，其实也就意味着有第二代对吧？这方面你能稍微说说吗？”
听得心驰神往的陈国泰深吸了一口气，顺势说道。
“这个......具体的研发过程肯定不能说。不过表面上的大体情况还是可以透露一些......徐总工取得成功之后，并没有就此止步不前。从75年开始，他带领团队采用直接在半导体晶片上光刻集成电路的方法，投入了对‘自动对准分步投影光刻机’的研究。这项研究被称为第二代光刻机。预计成功之后会让我国的芯片制程突破微米级，正式扣响纳米级的大门。因为它加工的最细线宽能达到零点八微米，也就是800纳米......”
郑通元继续叙述，却在具体进展上停了下来。
陈国泰很是理解地点了点头，知趣地没有追问。
不过
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